極紫外雜散光

在極紫外光刻中，反射鏡表面粗糙度引起的散射光被稱為極紫外雜散光。

基本介紹

• 中文名：極紫外雜散光
• 外文名：EUV flare

雜散光的大小與波長的平方成反比，波長越短，flare數值越大。EUV雜散光的存在，增加了背景強度，該背景強度源自表面特徵的散射，這些特徵未被光解析，並對光刻性能產生一定的影響。在EUV系統中，雜散光可以是EUV光源，也可以是EUV光源產生的帶外（OoB）光。 OoB燈增加了影響光刻膠曝光的複雜性，而不是通過EUV曝光來解決。