極紫外反射鏡

極紫外(EUV)?>反射鏡是使光的傳播方向發生偏轉的鏡子，在反射鏡表面鍍有Mo/Si多層膜結構，如圖1所示。

基本介紹

• 中文名：極紫外反射鏡
• 外文名：EUV mirror

在圖1中，Mo層厚度是2.8nm，Si層厚度是4.1nm，一個Mo/Si的周期為6.9nm。在13.5nm波長時，Mo的折射率n和工藝因子k分別為0.9227與0.0062；Si的n和k分別為0.9999和0.0018。入射光在每一個Mo/Si界面處發生反射和折射，這樣的膜厚設計就使得反射光之間是相長干涉（constructivelyinterference）。

反射鏡對於13.5nm的波長的光具有最大的反射率，圖2是一個EUV反射鏡多層膜結構剖面的電子顯微鏡照片，在多層膜表面有一層Ru保護層。

圖2 EUV反射鏡剖面的TEM照片

在反射鏡Mo/Si多層膜表面添加一個2~3nm的Ru層可以有效地延緩Mo/Si的氧化，降低C在表面沉積的速率。