最佳曝光量

基本介紹

• 中文名：最佳曝光（能）量
• 外文名：Best energy

最佳曝光能量（Best exposure energy）給定厚度抗蝕劑曝光顯影后，可精確複製光學掩模版圖形尺寸所必需的光化學輻照(能夠產生光化學反應的電磁輻射)的總累積能量，能量的單位以每crnz所需能量計。

對於最佳曝光能量，另一種含義是指光學曝光系統達到最佳成像效果所對應的的曝光能量。在最佳焦平面參數的條件下，該曝光劑量可使曝光結果的特徵尺寸最接近標準的關鍵尺寸（CD）設計值。