中文名稱 | 晶向偏離 |
英文名稱 | off -orientation |
定 義 | 晶片表面法線與晶體結晶學方向偏離的角度。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),總論(三級學科) |
中文名稱 | 晶向偏離 |
英文名稱 | off -orientation |
定 義 | 晶片表面法線與晶體結晶學方向偏離的角度。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),總論(三級學科) |
隨著籽晶取向偏離角的增大,籽晶的枝晶乾與最大熱流方向的夾角也不斷增大,但在隨後生長的胞晶方向發生明顯的改變。胞晶乾的生長方向均沿著平行熱流方向生長,與枝晶的生長方向沿著擇優取向生長顯著不同,胞晶的生長方向由熱流方向...
所謂光點定向,就是利用矽單晶結晶結構所具有的巨觀對稱性,把矽晶體某晶面進行研磨,擇優腐蝕等一系列恰當處理﹐使晶面上出現許多小的腐蝕坑﹐這些小坑都是由一些規則排列的低指數原子小平面所圍成﹐並且不同晶向生長之矽單晶﹐它們的...
這樣,晶面生長動力學的問題就被突出了。動力學理論 編輯 晶體生長的動力學理論 晶面生長的動力學指的是偏離平衡的驅動力(過冷或過飽和)與晶面生長的速率的關係,它是和晶體表面的微觀形貌息息相關的。從20世紀20年代就開始了這方面...