中文名稱 | 正交晶向偏離 |
英文名稱 | orthogonal misorien- tation |
定 義 | {111}單晶片做取向偏離切割時,晶片表面的法線矢量在 {111}晶面上的投影與最鄰近的<110>晶向在{ 111}晶面上的投影之間的夾角。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),總論(三級學科) |
中文名稱 | 正交晶向偏離 |
英文名稱 | orthogonal misorien- tation |
定 義 | {111}單晶片做取向偏離切割時,晶片表面的法線矢量在 {111}晶面上的投影與最鄰近的<110>晶向在{ 111}晶面上的投影之間的夾角。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),總論(三級學科) |