晶圓在快速熱處理爐內的晶圓有效放射率為目的,考慮中山科學研究院正在發展中的快速熱處理機台腔體內的熱傳,本文以蒙地卡羅法(MCM)計算加熱燈、腔體及晶圓之間的熱輻射交換,其結果再結合晶圓有效放射率之定義,以求得快速熱處理過程中晶圓有效放射率隨晶圓徑向位置之分布,然後以相關文獻及有效放射率的定義加以分析、探討。
基本介紹
- 中文名:放射率
- 外文名:Emission rate
- 目的:晶圓快速熱處理爐內有效放射率
- 設備:蒙地卡羅法(MCM)計算加熱燈
晶圓在快速熱處理爐內的晶圓有效放射率為目的,考慮中山科學研究院正在發展中的快速熱處理機台腔體內的熱傳,本文以蒙地卡羅法(MCM)計算加熱燈、腔體及晶圓之間的熱輻射交換,其結果再結合晶圓有效放射率之定義,以求得快速熱處理過程中晶圓有效放射率隨晶圓徑向位置之分布,然後以相關文獻及有效放射率的定義加以分析、探討。
晶圓在快速熱處理爐內的晶圓有效放射率為目的,考慮中山科學研究院正在發展中的快速熱處理機台腔體內的熱傳,本文以蒙地卡羅法(MCM)計算加熱燈、腔體及晶圓之間的熱...
輻射率是指衡量物體表面以輻射的形式釋放能量相對強弱的能力。物體的輻射率等於物體在一定溫度下輻射的能量與同一溫度下黑體輻射能量之比。黑體的輻射率等於1,其他...
物體反射的輔射能量,占總人射能量的百分比,稱為反射率。不同物體的反射率也不同,這主要取決於物體本身的性質(表面狀況),以及入射電感波的波長和入射角度,反射...
基本反射率產品,表示單位體積中降水粒子直徑6次方的總和(單位6mm/m3)。...... 基本反射率產品,表示單位體積中降水粒子直徑6次方的總和(單位6mm/m3)。...
地表反射率是指地面反射輻射量與入射輻射量之比,表征地面對太陽輻射的吸收和反射能力。反射率越大,地面吸收太陽輻射越少; 反射率越小,地面吸收太陽輻射越多。...
表觀反射率是指大氣層頂的反射率,其值等於地表反射率與大氣反射率之積。...... 表觀反射率是指大氣層頂的反射率,其值等於地表反射率與大氣反射率之積。 [1]...
反射率,又稱反射本領,是反射光強度與入射光強度的比值。不同材料的表面具有不同反射率,其數值多以百分數表示,同一材料對不同波長的光可有不同 的反射率,這個...
詞目: 反射率分析。 英文: reflectance analysis。 釋文: 反射率為地物表面反射與入射的輻照度之比值。反射率分析乃是對實測的地物反射率和從遙感圖像中提取的...
光譜反射率是指地物在某波段的反射通量與該波段的入射通量之比。即地物對不同波長的電磁波會產生選擇性反射。因此,地物的反射率通常指的是光譜反射率。...
可見光反射率是指在可見光譜(380納米至780納米)範圍內,玻璃反射的光強度入射光強度的百分比。...
反射度,亦稱反射率,是指物體反射的輔射能量占總輻射能量的百分比。不同物體的反射率也不同,這主要取決於物體本身的性質(表面狀況),以及入射電感波的波長和入射...
光電測定法是測定反射率的一種精密方法。用光電元件測定反射率標準和被測物體反射光產生的光電流,將電流強度代入一定計算公式,即可由標準的反射率算出被測物體的...
與反光度同義。反光率是表示物體反射光線的能力。...... 反射能力強的是高反光率景物,如白色或淺色景物;反射能力弱的是低反光率景物;黑色物體則不反射光線。...
透光率是一個物理辭彙,是表示光線透過介質的的能力,是透過透明或半透明體的光通量與其入射光通量的百分率。假束平行單色光通過均勻、無散射的介質時,光的一部分被...
洗淨率是為了表示洗淨效果而規定的指標,它是指標準污染布在洗滌前後的反射率差占其污染前後的反射率差的百分比,用白話說就是因洗滌增加的反射率值占因污染降低的...
反射率測定儀技術指標已達到國際標ISO3906—1980(E)對反射率的要求,它可按國際標準ISO3906—1980(E)、ISO3905、ISO2814測定色漆、清漆—淺色漆以及色漿、顏料、...