擴散結深定義為從矽中表面到擴散層濃度等於襯底濃度處之間的距離,一般以微米為單位計量
結深的測量，通常在100mlHF（49%）加幾滴HNO3d的混合液中對磨斜角（1°～5°）的樣品做化學染色，有時只要HF就夠了。如果樣品置於強光下照一兩分鐘，P型區要比n型區染色重。利用Tolansky干涉條紋技術，可精確測量0.5～100μm的結深。
生產中的兩種擴散法：無限（恆定）表面源雜質擴散、有限表面源雜質擴散，分別形成erfc（余誤差）分布和Gauss（高斯）分布，其結深近似有相同的表達式：
影響因素有：擴散時間、擴散係數、結面濃度、襯底濃度。
