接觸式光刻機

接觸式光刻機是一種用於信息科學與系統科學、能源科學技術、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2016年7月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：接觸式光刻機
• 產地：其他
• 學科領域：信息科學與系統科學、能源科學技術、電子與通信技術
• 啟用日期：2016年7月12日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 汽車工藝實驗設備 > 紅外線汽車排氣分析儀

技術指標

線寬＜3um；通用2~6寸mask；良率95以上。

主要功能

接觸式光刻，曝光精度1um；。