探針儀

探針儀是一種用於材料科學領域的電子測量儀器，於2010年12月22日啟用。

基本介紹

• 中文名：探針儀
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2010年12月22日
• 所屬類別：電子測量儀器 > 通用電子測量儀器 > 積體電路測試儀

技術指標

1.電壓範圍：±100V，電流範圍：±100mA；電流測試精準度：±10F；2.電容精度：±1pF；頻率範圍：10Khz-5MHz；偏壓範圍：±25V；3.脈衝寬度最小25ns，脈衝高度最大±40V，脈寬精準度2.5ns。

主要功能

用於與TFT陣列測試儀聯用，測試TFT器件電學性能，為TFT陣列測試專門定製。