掃描電鏡方法

掃描電鏡方法是利用掃描電鏡對樣品的結構和性能進行分析的方法。掃描電鏡的基本部件有透鏡系統、電子槍、電子收集器、觀察和記錄影像的陰極射線管等。其基本原理是用極細的電子束在樣品表面上掃描，然後按電視原理放大成像，顯示在電視螢幕上。

當電子轟擊樣品表面時會產生各種信號，其中包括二次電子、背散射電子和不同能量的光子等。這些信號來自樣品的特定發射區域，它隨表面形貌的不同而變化。從而可以獲得樣品的成份、表面形貌、晶體結構等信息。掃描電鏡的特點之一是，用它檢驗大塊樣品時能獲得高的解析度，商品儀器可達50埃，專用儀器可達25埃。特點之二是，利用掃描電鏡的大景深可獲得樣品的三維形態。這對生物學、醫學等特別有價值。