掃描電子式顯微鏡

掃描電子式顯微鏡是日本生產的一種電子光學儀器，於2007年5月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：掃描電子式顯微鏡
• 產地：日本
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器
• 型號：JSM-6390

技術指標

理論放大倍數5~300000X解析度3.0nm。

服務內容

1.電子零件顯微形貌觀察；

2.薄膜厚度及微粒尺寸量測；

3.錫須觀察分析；

4.合金層IMC形貌觀察。