掃描超音波顯微鏡

掃描顯微鏡是一種用於冶金工程技術領域的特種檢測儀器，於2008年8月19日啟用。

基本介紹

• 中文名：掃描超音波顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：冶金工程技術
• 啟用日期：2008年8月19日
• 所屬類別：特種檢測儀器

技術指標

１.材料內部的晶格結構，雜質顆粒．夾雜物．沉澱物．2. 內部裂紋. 3.分層缺陷.4.空洞,氣泡,空隙。

主要功能

檢測、解析IC 內部不同位置的脫層、氣洞、裂痕及粘著狀況，此設備可以用來評估半導體電子業之封膠化合物，適合檢查封膠內的微小缺陷： ．封裝裂縫 　．脫層(Delamination)　．晶粒裂縫 　．樹脂內氣泡 　．晶粒附著不良 　．焊線不良 閎康科技之檢驗系統特色可有3D成像， 實時3D成像，0.5um高度解析度，1000mm/秒高速度，A掃瞄(A-scan)，B。