掃描場

掃描曝光方式的電子束曝光系統或者雷射曝光系統中，偏轉器的偏轉範圍有限，需要設定一定大小的掃描寬度，在這個範圍內可實施偏轉畸變校正，這個掃描曝光的範圍稱為掃描場。

基本介紹

• 中文名：掃描場
• 外文名：Scanning field

場與場之間的拼接靠台面的精密移動實現，為了保證曝光的拼接精度，通常還在偏轉區內設定更小的子場，子場之間的圖形拼接精度控制偏轉系統實現，掃描場的大小由掃描模式確定。