掃描共焦顯微鏡

掃描共焦顯微鏡是一種用於動力與電氣工程、電子與通信技術、航空、航天科學技術領域的分析儀器，於2016年12月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：掃描共焦顯微鏡
• 產地：韓國
• 學科領域：動力與電氣工程、電子與通信技術、航空、航天科學技術
• 啟用日期：2016年12月28日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 光學顯微鏡

技術指標

水平及垂直顯示解析度1nm，3σ重複性20nm。

主要功能

積體電路晶片關鍵幾何尺寸。