掃描俄歇微探針[法](scanning Auger microprobe)是2016年全國科學技術名詞審定委員會公布的化學名詞。
基本介紹
- 中文名:掃描俄歇微探針[法]
- 外文名:scanning Auger microprobe
- 所屬學科:化學
- 公布時間:2016年
掃描俄歇微探針[法](scanning Auger microprobe)是2016年全國科學技術名詞審定委員會公布的化學名詞。
掃描俄歇微探針[法](scanning Auger microprobe)是2016年全國科學技術名詞審定委員會公布的化學名詞。定義超高真空條件下,用電子束對樣品表面進行掃描取得二次電子像,根據所選微區能進行各種俄歇分析...
掃描俄歇微探針是一種用於物理學、化學、材料科學領域的分析儀器,於2002年04月08日啟用。技術指標 檢測範圍:原子序數大於He的所有元素 檢測極限:0.1 at% 信息深度:0.5~5 nm 空間解析度:25 nm 能量解析度≤0.3% 半定量:相對原子靈敏度因子法。主要功能 主要套用於固體材料的成份,特別是微納區域的表面與...
1970 年通過掃描細聚焦電子束, 實現了表面組分的兩維分布的分析(所得圖像稱俄歇圖),出現了所謂的掃描俄歇微探針。1972 年 ,R .W .Palmberg利用離子濺射,將表面逐層剝離,獲得了元素的深度分析,實現了三維分析。至此,俄歇譜儀的基本格局已經確定,開始被廣泛使用。俄歇電子的產生 當一束單色能量的電子束入射...
《微探針固體表面俄歇譜測量》是依託中國科學技術大學,由徐春凱擔任項目負責人的青年科學基金項目。中文摘要 結合原子分子物理中的電子能譜測量技術和納米科學中的掃描隧道顯微鏡(STM)技術,在保留STM表面形貌測量的基礎上對固體表面進行極微細尺度的元素分析,是實現單原子識別的一個重要途徑。本項目的研究內容是建立一...
裝上波長色散X射線譜儀(WDX)或能量色散X射線譜儀(EDX),使具有電子探針的功能,也能檢測樣品發出的反射電子、X射線、陰極螢光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴大套用到各種顯微的和微區的分析方式,顯示出了掃描電鏡的多功能。另外,還可以在觀察形貌圖象的同時,對樣品任選微區進行分析;裝上半導體試樣座...
《掃描電鏡中襯度產生的模擬計算》是依託中國科學技術大學,由丁澤軍擔任項目負責人的青年科學基金項目。 中文摘要 本課題採用一種新的蒙特卡洛模型以計算機模擬方法研究電子束在固體樣品中的散射過程及伴隨X光和二次電子的產生和發射過程,並套用於掃描電子顯微學、電了探針微分析術和俄歇電子能譜。根據我們在國際上率先...
今後發展和改進的主要方向是:提高質譜解析度,以減少和排除二次離子質譜干擾;實現多種質譜粒子探測,以獲得樣品和多種粒子的信息和資料;定量分析和離子濺射機理的研究;新型液態金屬離子源的套用;離子探針與多種儀器(如X射線光電子能譜、紫外光電子能譜、俄歇電子能譜)聯用等。質譜分析器 離子探針質譜分析器 i...
如果入射電子束很細且能在樣品表面掃描,而電子能量分析器只開一個很窄的、對應於一定能量的“視窗“,便可得到表面元素分布圖。表面元素分布圖形式上同掃描電子顯微鏡得到的圖像相似,但後者表示的是表面形貌,而前者表示的是元素豐度分布。這種儀器稱為掃描俄歇微探針,在微電子學和材料科學方面有很重要的套用。射線...
俄歇電子的能量和試樣表面激發原子的原子序數及化學價態等有關。當直徑為幾十至幾百埃的電子束在試樣表面掃描時,通過筒鏡型能量分析器接收從試樣原子發射出來的俄歇電子,可得到試樣表面形貌及表面結構圖像。新型掃描俄歇電子顯微鏡,可觀察試樣表面深度為10埃以內的元素分布圖像,解析度達500埃。適用於除氫、氮以外的...
824俄歇電子能譜儀167 825掃描俄歇顯微探針(SAM)168 參考文獻170 第9章掃描電子顯微鏡171 91電子與物質的相互作用171 911電子散射171 912背散射電子172 913二次電子172 92掃描電子顯微鏡結構和成像原理173 921掃描電子顯微鏡的工作原理173 922掃描電子顯微鏡的結構175 ...
and SiO2 Surfaces 論文作者 時方曉著 導師 宋心琦教授指導 學科專業 物理化學 學位級別 d 1997n 學位授予單位 清華大學 學位授予時間 1997 關鍵字 納米薄膜電遷移 掃描俄歇微探針 變角光電子譜 館藏號 唯一標識符 108.ndlc.2.1100009031010001/T3F24.012002618433 館藏目錄 BSLW 1998 TN304.055 13\ \ ...
微結構分析方法主要有光電子能譜技術、光譜分析技術、顯微分析技術、X射線分析技術等。光電子能譜技術包括X光電子能譜(XPS)和俄歇光電子能譜(AES);光譜分析掛術包括紅外光譜(IR)和Raman光譜;顯微分析技術中有掃描隧道顯微鏡(STM),原子力顯微鏡(AFM)及掃描和透射電子顯微鏡(SEM、TEM);X射線分析技術主要是X射線...
微區成分分析(microanalysis)是指樣品表面線度約1微米的面積內進行成分分析的技術。簡稱為微(束)分析或微探針。分析結果反映由微小面積和取樣深度決定的有效探測體積內的平均成分和含量。分析時若對樣品表面掃描即可探測成分的面分布及相應的表面形貌。此類成分分析大多始於20世紀60年代,隨著以超大規模積體電路為代表...
Auger spectrometer 俄歇能譜儀 auger shower 俄歇簇射 ; 廣延空氣簇射 ; 奧術簇射 earth auger 挖坑機 ; 鑽土機 ; 螺旋形鑽土器 ; 地鑽 auger pile 螺旋樁 ; 小螺紋鑽孔 auger microprobe 俄歇微探針 auger boring 螺旋鑽進 ; [機] 螺旋鑽孔 ; 螺旋式鑽探 ; 鑽孔 motor auger 機力螺旋鑽 gauge auger[機...
表面弛豫,表面再構,表面缺陷,表面形貌;可用技術:LEED(Low Energy ElectronDiffraction,低能電子衍射)、RHEED(Reflection High - Energy Electron Diffrac-tion,反射式高能電子衍射)、EXAFS(Extended X- ray Absorption Fine Structure,擴展X射線吸收精細結構譜)、SPM(Scanning Probe Microscope,掃描探針顯微鏡)...
20世紀80年代發展起來的掃描探針顯微術(掃描隧道顯微術),不僅在表面有原子尺度分辨能力,而且可對表面原子或分子團進行移動或加工。結合一些納米尺度的性能測試,近期有較快的發展。②衍射法。材料的結構測定仍以X射線衍射為主。這一技術包括德拜粉末相分析,高溫、常溫、低溫衍射儀,背反射和透射勞厄照相,測定單晶...
2二次電子 3.2.3背散射電子 3.2.4俄歇電子 3.2.5陰極螢光 3.2.6透射電子 3.2.7電漿激發 3.2.8聲子激發 3.3輻照損傷 第4章電子衍射 第5章複雜電子衍射譜 第6章透射顯微術電子像襯度原理 第7章掃描電子顯微鏡 第8章電子探針顯微分析儀和微分析 第9章其他顯微分析方法 實驗 附錄 參考文獻 ...
電子與物質相互作用會產生透射電子,彈性散射電子,能量損失電子,二次電子,背反射電子,吸收電子,X射線,俄歇電子,陰極發光和電動力等等。電子顯微鏡就是利用這些信息來對試樣進行形貌觀察、成分分析和結構測定的。電子顯微鏡有很多類型,主要有透射電子顯微鏡(簡稱透射電鏡,TEM)和掃描電子顯微鏡(簡稱掃描電鏡,SEM)兩...
第12章電化學掃描探針顯微技術 12.1電化學掃描探針顯微技術概述 12.2電化學掃描隧道顯微鏡 12.2.1stm的工作原理 12.2.2ecstm裝置 12.2.3ecstm的套用 12.3電化學原子力顯微鏡 12.3.1ecafm的原理與技術 12.3.2ecafm的套用 12.4掃描電化學顯微鏡 12.4.1secm的工作原理 12.4.2探針的製備...
4.6.1 高空間解析度俄歇電子譜 4.6.2 高空間解析度掃描俄歇顯微鏡 4.6.3 解析度極限 4.6.4 探測靈敏度 4.7 能量損失電子和X射線的納米分析 4.7.1 電子能量損失譜 4.7.2 X射線能量分散譜 4.7.3 EELS與XEDS納米分析比較 4.8 小結 參考文獻 第5章 納米糰簇的掃描探針顯微術 Li...
《表面分析技術(精)》是2020年12月中山大學出版社出版的圖書,作者是約翰·C·維克曼,伊恩·S·吉爾摩,本書介紹表面分析主要技術,包括俄歇電子能譜、X射線光電子能譜、二次離子質譜、低能粒子散射和盧瑟福背散射技術、表面分子振動光譜技術以及擴展X射線吸收精細結構和掃描隧道顯微技術、原子力顯微技術等。內容簡介 ...
5.4 俄歇電子能譜法80 5.4.1 基本理論80 5.4.2 儀器組成及工作原理81 5.4.3 特點及套用82 5.5 電子顯微鏡法84 5.5.1 透射電子顯微鏡84 5.5.2 掃描電子顯微鏡87 5.5.3 冷凍電子顯微鏡90 參考文獻96 第6章 紫外-可見光譜法與圓二色譜法98 6.1 紫外-可見光譜法98 6.1.1 基本理論98...
掃描電子顯微鏡的製造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時,被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特徵x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時,也可產生電子–空穴對、晶格振動(聲子)、電子振盪(電漿)。發展歷史 1926年...
掃描探針顯微術(包括掃描隧道電子顯微術和多種原子力顯微術)異軍突起,解析度在20世紀80年代前就達到了原子級。分析表面的電子顯微術包括低能電子顯微術、光電子(發射)顯微術、反射電子顯微術和俄歇電子顯微術。離子束微分析中,介紹了入射離子束在固體中的散射、盧瑟福背散射譜、聚焦離子束儀和二次離子質譜。X射線...
第8章 掃描電子顯微分析 8.1 掃描電鏡工作原理、構造和性能 8.2 掃描電鏡在材料研究中的套用 8.3 波譜儀結構及工作原理 8.4 能譜儀結構及工作原理 8.5 電子探針分析方法及微區成分分析技術 第9章 材料表面分析技術 9.1 俄歇電子能譜分析 9.2 x射線光電子能譜分析 9.3 原子探針顯微分析 第10章 掃描...
微區化學成分分析,用電子微探針和雷射微探針技術等,不破壞試樣而進行表血和一定深度的分析方法。簡介 用電子微探針和雷射微探針技術等,不破壞試樣而進行表血和一定深度的分析方法。它需要特殊的儀器。如俄歇電子光譜,x射線電光譜,二次離子質i透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡等都是微區和表面分析的主要儀器。AE5...
微系統的尺度小,材料組合性強,功能多,對它的測量與檢測構成了該領域新的挑戰。本書內容豐富,覆蓋面廣,匯聚了各國知名大學共28位作者的卓越成果。書中將檢測技術原理與眾多套用實例相結合,介紹了微系統檢測的套用光學技術,主要提供該領域中典型光學檢測技術的全面回顧,包括光散射法、掃描探針顯微技術、共焦顯微...
第5章微納表征(127)5.1引言(127)5.2顯微技術(128)5.2.1光學顯微鏡(128)5.2.2掃描電子顯微鏡(130)5.2.3透射電子顯微鏡(135)5.2.4原子力顯微鏡(138)5.2.5掃描隧道顯微鏡(141)5.3譜學技術(142)5.3.1俄歇電子能譜(142)5.3.2電子微探針(144)5.3.3二次離子質譜(147)5.3.4X射線光電子能譜(...
5.4 掃描探針顯微技術 5.4.1 掃描探針顯微鏡概述 5.4.2 掃描隧道顯微鏡 5.4.3 原子力顯微鏡 5.4.4 幾種新型掃描探針顯微鏡 推薦書目 第6章 表面分析技術 6.1 電子能譜分析 6.1.1 X射線電子能譜分析 6.1.2 紫外光電子能譜分析 6.1.3 俄歇電子能譜分析 6.2 探針技術 6.2.1 電子探針技術 6....
7.4.3 掃描探針顯微鏡(SPM)參考文獻 第8章 光譜技術 8.1 紅外光譜技術 8.1.1 紅外光譜的基本原理 8.1.2 紅外光譜儀 8.1.3 紅外光譜在催化劑表征的套用 8.2 紫外光譜技術 8.2.1 概述 8.2.2 紫外漫反射光譜工作原理 8.2.3 儀器 8.2.4 標準物的選擇 8.2.5 樣品的處理 8.2.6...