微區化學成分分析

簡介

用電子微探針和雷射微探針技術等，不破壞試樣而進行表血和一定深度的分析方法。它需要特殊的儀器。如俄歇電子光譜，x射線電光譜，二次離子質i}}透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡等都是微區和表面分析的主要儀器。AE5和x}s己用於測定微粒表面層的元素及各組分隨深度和區域的變化，有人測定了存在灰塵微粒表面_七的AI,Si,K,C,C},Fc,:Va,C'.a ,S.C'.1和N,發現某些元素只存在於微粒表面的某一C域。SIMS取樣深度約在1--2nm，取樣面積約在1 frm直徑範圍，‘日適用於單個微粒的研究