拋光墊

拋光墊又稱拋光皮，拋光布，拋光片，化學機械拋光中決定表面質量的重要輔料。

基本介紹

• 中文名：拋光墊
• 外文名：Polishing pad, Polishing cloth
• 按是否有磨料：分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊
• 按表面結構：平面型、格線型和螺旋線型

分類

按是否含有磨料可以分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊; 按材質的不同可以分為聚氨酯拋光墊、無紡布拋光墊和複合型拋光墊; 按表面結構的不同大致可分為平面型、格線型和螺旋線型。

作用

①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區域；

②將拋光後便化學反應充分進行;的反應物、碎屑等順利排出，達到去除效果；

③維持拋光墊表面的拋光液薄膜, 以便化學反應充分進行；

④保持拋光過程的平穩、表面不變形, 以便獲得較好的晶片表面形貌；

影響因素

①硬度-拋光墊的硬度決定保持面形精度的能力；

②壓縮比-壓縮比反應拋光墊的抗變形能力；

③涵養量-拋光墊的涵養量是單位體積的拋光墊存儲拋光液的質量；

④粗糙度-表面粗糙度是拋光墊表面的凸凹不平程度,；

⑤密度-密度是拋光墊材料的緻密程度；