抗蝕性

抗蝕性clch resistxnce在成像(或光刻)的圖形i}域‘}，卜光掩模塗層或防護材料(如光致抗蝕劑)的抗腐蝕能力，也可描述混凝土等非金屬材料抵抗風化、腐蝕等的抗性。