基本介紹
- 中文名：戴忠玲
- 畢業院校：大連理工大學
- 學位/學歷：博士
- 職業：教師
- 專業方向：電漿物理
- 任職院校：大連理工大學
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人物經歷
教育經歷
2000.9-2004.7 大連理工大學電漿物理博士
1986.9-1989.7 吉林大學固體物理碩士
工作經歷
1989.7至今 物理學院教師
學術成果
論文成果
左春彥,高飛,戴忠玲,王友年.高功率微波輸出窗內側擊穿動力學的PIC/MCC模擬研究[J],物理學報,2018,22:340-350
左春彥,高飛,戴忠玲,王友年.高功率微波輸出窗內側擊穿動力學的PIC/MCC 模擬研究[J],物理學報,2018,67(22):267-278
戴忠玲,董婉,宋遠紅,王友年. Effect of ion bombardment time on the profile of atomic layer etching[A],2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics,2018
董婉,王喜鳳,宋遠紅,戴忠玲,王友年.Effect of plasma uniformity on etching profiles[A],The 71st Annual Gaseous Electronics Conference,2018
董婉,戴忠玲,宋遠紅,王友年.ALE of SiO2 by alternating CF4 plasma with energetic Ar+ plasma beams[A],7th international conference on microelectronics and plasma technology,2018
Ma, Xiaoqin,Zhang, Saiqian,Dai, Zhongling,Wang, Younian.Study on atomic layer etching of Si in inductively coupled Ar/Cl-2 plasmas driven by tailored bias waveforms[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2017,19(8,SI)
發明專利
一種用於電漿刻蝕的元胞-水平集聯合模擬方法
一種用於電漿刻蝕的元胞-水平集聯合模擬方法
著作成果
計算物理學習指導
大學物理實驗（第二版）
大學物理實驗
科研項目
雙頻電容耦合放電電漿流體動力學數值模擬, 國家自然科學基金項目, 2005/09/01, 完成
基於水平集方法的三維電漿刻蝕剖面演化規律研究, 2008/07/15-2010/12/31, 完成
脈衝調製電漿增強原子層刻蝕多尺度研究, 國家自然科學基金項目, 2013/09/25-2017/12/31, 完成
反應離子刻蝕微觀不均勻性的跨尺度研究, 國家自然科學基金項目, 2009/09/25-2012/12/31, 完成
四面體格線劃分技術合作項目, 企事業單位委託科技項目, 2018/09/20-2020/01/30, 進行
獲獎記錄
2012-2013學年優秀班主任 （2013年）
本科生課外科技活動優秀指導教師 （2013年）
中國大學生計算機設計大賽 （周陽 曹柯） （2012年）
校教學質量優良獎 （2011年）
校教學質量優良獎 （2008年）
