《雙頻電容耦合放電電漿流體動力學數值模擬》是依託大連理工大學,由戴忠玲擔任醒目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：雙頻電容耦合放電電漿流體動力學數值模擬
- 依託單位：大連理工大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：戴忠玲
- 批准號：10572035
- 申請代碼：A0908
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 支持經費：28（萬元）
項目摘要
建立基於導體和絕緣基板的含活性粒子的雙頻電容耦合放電電漿非平衡輸運過程的自恰二維流體動力學模型；採用自適應差分格線，結合增量求解技術，全區域地模擬放電全過程；採用有限元法求解二維複雜域電磁流體動力學問題，模擬刻蝕槽中微結構區電場和活性粒子密度的時空分布；採用Monte-Carlo方法跟蹤離子（團）在雙頻電場作用下的運動過程以及化學反應過程；研究電漿非平衡特性和參數，如各種活性粒子密度、電子溫度和電場的時空分布，特別是離子（團）轟擊基板表面的能量分布和角度分布；研究外部參數（如氣體組分、濃度和氣體壓強等）和雙頻偏壓電源參數（功率比、頻率比等）對電漿密度、電子溫度、鞘層電場和離子（團）轟擊基板的能量分布和角度分布以及對絕緣基板表面電荷積累的影響規律；為電漿刻蝕工藝的參數最佳化和控制提供理論依據。
