快速熱處理系統

快速熱處理系統是一種用於材料科學、工程與技術科學基礎學科領域的儀器，於2014年10月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：快速熱處理系統
• 產地：法國
• 學科領域：材料科學、工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2014年10月12日

技術指標

最高溫度1100℃；典型升溫和降溫速率為20-30℃/s；可加工最大樣品尺寸為8英寸；可常壓和真空模式，最小5torr；工藝氣體有氧氣和氮氣。

主要功能

快速熱處理是利用高功率加熱燈對襯底表面進行快速升溫，腔體兼容大氣壓和真空狀態，主要的工藝氣體有氧氣和氮氣，樣品最大尺寸為8英寸。目前設備有兩種類型的溫度感測和控制器，熱電偶感測控制器適應溫度範圍從室溫至1000攝氏度；光學高溫計器適應溫度範圍從200至1200攝氏度。設備套用於離子注入的快速熱激活、快速氧化層製備、金屬歐姆接觸形成等。