快速掃描型原子力顯微鏡是一種用於力學領域的計量儀器，於2017年4月17日啟用。
基本介紹
- 中文名：快速掃描型原子力顯微鏡
- 產地：美國
- 學科領域：力學
- 啟用日期：2017年4月17日
- 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 原子力顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
樣品台大小：210mm x 210mm，全自動樣品台，樣品固定方式：標配真空吸附，XY方向最大掃描範圍：90μm，Z方向最大掃描範圍：10μm，最大掃描速度：10Hz，Z方向閉環噪音水平：0.035nm，熱漂移水平：0.2nm/min，光學輔助觀察系統：5百萬像素數字攝像頭； 180μm至1465μm可視區域；數位化縮放；馬達驅動聚焦；1.6um解析度，解析度：XY方向0.2nm；Z方向0.03nm；可獲得雲母原子圖像。自動化樣品台，可程式進行多區域掃描。不限安裝次數的離線分析軟體。
主要功能
原子力顯微鏡能夠在大氣及液體環境下準確地觀測樣品表面納米尺度的三維形貌；同時可對樣品表面物理化學特性進行研究，如表面組分區別、溫度、表面電勢、磁場力、靜電力、摩擦力和其他表面力以及電化學相互作用力的測量；同時可以對樣品表面進行納米尺度的刻蝕和加工。
