有許多減小工件淬火變形的工藝方法，如馬氏體分級淬火、貝氏體等溫淬火等。微變形淬火系一種綜合的工藝措施，包括預備熱處理和淬火、回火工藝。在此，預備熱處理的作用是得到細小、均勻的組織，為淬火作準備。而淬火時，在保證淬透的前提下，採用更均勻、更緩慢的冷卻方式，將熱應力、相變應力減小到最低程度，以減小工件的淬火變形。
例如，T12鋼製無刃切斷刀的微變形淬火。要求最終熱處理後硬度55~58HRC,平面變形度<0.10mm。原加工工藝路線是:下料鍛造一等溫退火一機械加工一淬火、回火精加工。按此工藝淬火、回火後工件淬火變形超差，達0.15~0.20mm。改用微變形淬火工藝後得到了合格的工件。微變形淬火的加工工藝是: 下料一粗車一調質精車一淬火、回火一精加工;。與原工藝相比較微變形淬火熱處理工藝的特點有三：1.預備熱處理是以調質代替了等溫退火；2.奧氏體化採用的是高溫、短時間加熱；3.淬火冷卻採用的是預淬等溫淬火(M,點約為300℃) 方式。由於這三點的綜合作用的結果，達到了微變形淬火的目的。
