微系統技術是以微米量級內的設計和製造技術為基礎，研究開發微感測器、微致動器以及信號處理和控制電路，直至接口、通信和電源等於一體的微型器件或系統。微系統可以完成大尺寸機電系統所不能完成的任務，也可嵌入大尺寸系統中，把自動化、智慧型化和可靠性提高到一個新的水平。預期未來微系統將是科技上舉足輕重的新領域，具有廣闊的套用前景。 本書系統地闡述了微系統技術的基本概念、原理和特點；全面介紹了微系統設計技術、微製造技術、微系統檢測技術、微系統集成與控制技術和典型微系統——晶片實驗室技術。本書可以作為高校相關專業研究生和高年級本科生的選修課材和課外讀物，也適合微系統技術和專業人員及對微系統技術感興趣的有關人員閱讀。
基本介紹
- 書名：微系統原理與技術
- 類型：電機
- 出版日期：2005年3月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：9787111157823, 7111157826
- 作者：傅建中
- 出版社：機械工業出版社
- 頁數：223頁
- 開本：16開
- 品牌：機械工業出版社
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
微系統技術是以微米量級內的設計和製造技術為基礎，研究開發微感測器、微致動器以及信號處理和控制電路，直至接口、通信和電源等於一體的微型器件或系統。微系統可以完成大尺寸機電系統所不能完成的任務，也可嵌入大尺寸系統中，把自動化、智慧型化和可靠性提高到一個新的水平。預期未來微系統將是科技上舉足輕重的新領域，具有廣闊的套用前景。
本書系統地闡述了微系統技術的基本概念、原理和特點；全面介紹了微系統設計技術、微製造技術、微系統檢測技術、微系統集成與控制技術和典型微系統——晶片實驗室技術。本書可以作為高校相關專業研究生和高年級本科生的選修課材和課外讀物，也適合微系統技術和專業人員及對微系統技術感興趣的有關人員閱讀。
本書系統地闡述了微系統技術的基本概念、原理和特點；全面介紹了微系統設計技術、微製造技術、微系統檢測技術、微系統集成與控制技術和典型微系統——晶片實驗室技術。本書可以作為高校相關專業研究生和高年級本科生的選修課材和課外讀物，也適合微系統技術和專業人員及對微系統技術感興趣的有關人員閱讀。
圖書目錄
前言
第1章 微系統概述
1.1 微系統的基本概念和特點
1.2 微系統的動力學及非線特徵
1.2.1 微系統的力學特徵
1.2.2 微系統的動力學特徵
1.2.3 微系統動力學的非線性特徵
1.3 微系統的套用前景
參考文獻
第2章 微尺度理論及效應
2.1 微尺度固體力學
2.1.1 塑性應變梯度理論的本構關係
2.1.2 平衡變分關係
2.2 微尺度流體力學
2.2.1 微尺度流動特點
2.2.2 微流體雙電層效應
2.2.3 微流體電滲流
2.3 微尺度熱傳導
2.4 微尺度理論的研究方法
參考文獻
第3章 微系統的設計技術
3.1 微系統設計流程
3.2 微系統設計方法
3.2.1 微系統模組化設計
3.2.2 微系統集成化設計
3.3 微系統設計關鍵技術
3.4 微系統CAD
3.4.1 微系統CAD的體系結構
3.4.2 MEMS CAD軟體
參考文獻
第4章 微系統的製造技術
4.1 光刻和刻蝕技術
4.1.1 掩模製備
4.1.2 薄膜沉積
4.1.3 光刻
4.1.4 濕法刻蝕
4.1.5 乾法刻蝕
……
第1章 微系統概述
1.1 微系統的基本概念和特點
1.2 微系統的動力學及非線特徵
1.2.1 微系統的力學特徵
1.2.2 微系統的動力學特徵
1.2.3 微系統動力學的非線性特徵
1.3 微系統的套用前景
參考文獻
第2章 微尺度理論及效應
2.1 微尺度固體力學
2.1.1 塑性應變梯度理論的本構關係
2.1.2 平衡變分關係
2.2 微尺度流體力學
2.2.1 微尺度流動特點
2.2.2 微流體雙電層效應
2.2.3 微流體電滲流
2.3 微尺度熱傳導
2.4 微尺度理論的研究方法
參考文獻
第3章 微系統的設計技術
3.1 微系統設計流程
3.2 微系統設計方法
3.2.1 微系統模組化設計
3.2.2 微系統集成化設計
3.3 微系統設計關鍵技術
3.4 微系統CAD
3.4.1 微系統CAD的體系結構
3.4.2 MEMS CAD軟體
參考文獻
第4章 微系統的製造技術
4.1 光刻和刻蝕技術
4.1.1 掩模製備
4.1.2 薄膜沉積
4.1.3 光刻
4.1.4 濕法刻蝕
4.1.5 乾法刻蝕
……
