熱學微系統技術

內容提要

熱學微系統技術的基本信息，內容簡介和目錄。本書圍繞熱科學前沿領域內近年來發展迅速的微系統技術，集中闡述一些典型微器件的基本原理及研究方法，並剖析了相應主題上若干可供探索的途徑和新方向。全書注重推進微熱學方法在若干高新技術領域中的獨特套用。

本書可供熱科學、物理、電子、機械、器件、材料、化工、生物技術與醫學工程等領域的研究人員、工程師以及大專院校有關專業師生閱讀參考。

圖書目錄

序

前言

第1章　緒論

1.1　導言

1.2　常規熱學微系統技術的研究範疇

1.3　微/納尺度生物熱學技術的研究範疇

1.4　熱學微系統技術的國內外研究態勢

1.5　微尺度生物熱學研究的國內外態勢

1.6　熱學微系統技術的發展前景展望

1.7　生物熱學微系統技術的發展前景展望

1.8　小結

參考文獻

第2章　微/納米器件的熱學與流體加工技術

2.1　導言

2.2　MEMS加工技術發展概況

2.3自上而下及自下而上的微/納米加工方式

2.4　MEMS熱加工技術

2.5　傳統矽材料微加工技術中的熱學問題

2.6　微尺度光刻技術中的熱學控制問題

2.7　MEMS粉末沉積熱加工技術

2.8　微尺度熱膠接技術

2.9　MEMS加工中的熱壓塑技術

2.10　噴射微液滴的微尺度加工

2.11　基於微流體的加工方法

2.12　氣泡微加工方法

2.13　微細電火花加工技術

2.14　加工微器件的軟刻技術

2.15　MEMS封裝技術中的熱套用

2.16　MEMS熱加工技術的發展趨勢

2.17　低溫加工技術

2.18　光學精密器件低溫加工

2.19　生物工程低溫加工

2.20　化學工程低溫加工

2.21　機械工程低溫加工

2.22　電子工程低溫加工

2.23　冷凍乾燥型微加工技術

2.24　低溫微加工技術前景

2.25　生物微加工技術

參考文獻

第3章　納米熱流體技術

3.1　導言

3.2　納米流體技術概念

3.3　基於納米流體的熱管

3.4以納米液滴為添加物的納米流體

3.5　納米金屬流體

3.6　基於納米顆粒控制納米流體

3.7　納米流體研究展望

參考文獻

第4章　微納米流體器件技術

4.1　導言

4.2　微/納米流體閥門概況

4.3　控制微/納米流體的冰閥技術

4.4　冰閥器件的執行過程及影響因素

4.5　基於固液相變的蠕動泵

4.6　濕性電路中電信號的控制

4.7　微流體測量器件的製作

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