微機電系統製造技術(精)/微納製造的基礎研究學術著作叢書
基本介紹
- 書名：微機電系統製造技術/微納製造
- 出版社：科學 (2014年3月1日)
- ISBN：7030399749
- 作者：苑偉政//喬大勇|主編:盧秉恆
- 出版日期：2014年3月1日
微機電系統製造技術(精)/微納製造的基礎研究學術著作叢書
微機電系統MEMS製造技術/微納製造
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