微機電系統設計 : 建模、仿真與可視化

微機電系統設計 : 建模、仿真與可視化

《微機電系統設計 : 建模、仿真與可視化》是2010年科學出版社出版的圖書,作者是盧桂章、趙新。

基本介紹

  • 書名:微機電系統設計 : 建模、仿真與可視化
  • 作者:盧桂章、趙新
  • 出版社:科學出版社
  • 出版時間:2010年10月
內容簡介,圖書目錄,

內容簡介

本書建立了一種微電子機械器件的設計方法,對現有設計系統功能作了一些重要的補充和完善,其基本思路是在設計階段,當版圖和工藝設計完成後,通過建立運動部件的動態模型,進行三維可視化仿真,形成器件在虛擬環境中運行,從而對器件的運動功能進行評測。

圖書目錄

前言
第1章 緒論
第2章 微機電系統工藝級仿真——虛擬工藝技術
第3章 微機電系統的行為級仿真建模方法
第4章 微機電系統的虛擬運行
第5章 基於IP庫的MEMS設計系統
第6章 MEMS器件設計案例
《半導體科學與技術叢書》已出版書目

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