微機電系統設計：建模仿真與可視化

《微機電系統設計：建模仿真與可視化》是2010年科學出版社出版的圖書，作者是盧桂章、趙新。

基本介紹

• 書名：微機電系統設計：建模仿真與可視化
• 作者：盧桂章，趙新
• ISBN：9787030292209
• 出版社：科學出版社
• 出版時間：2010-10

內容簡介

本書建立了一種微電子機械器件的設計方法，對現有設計系甩獄宙統功能作了一些重要的補充和完善，其采檔基本組拳霸定思路是在設計階段，當版圖和工藝設計完成後，通過建立運動部件的動態模型，進行三維可付嚷兆殼視化仿真，形成器件在虛擬環境中運行，從而對器件的運動功能進行評測。

圖書目錄

前言

第1章屑淋估 緒論

第2章 微機電系統工藝級仿真——虛擬工藝技術

第3章 微機頁刪愉電系統的行為級仿真建去樂提模方法

第4章 微機電系統的虛擬運行

第5章 基於IP庫的MEMS設計系統

第6章 MEMS器件設計案例

《半導體科學與技術叢書》已出版書目