微機電系統原理

內容簡介

微機電系統（MEMS）技術研究主要針對微小系統，它在汽車、無線電話、數位相機以及醫療設備等方面都有著廣泛的套用。李基邦編著的這本《微機電系統原理》通過作者研究以及參考其他有價值的文獻，針對MEMS提出了統一法和封閉形式解方法，便於讀者更好地理解MEMS中的線性和非線性問題，以及開展相關套用設計。

全書共分九章，第一章為緒論部分，介紹了微機電系統的量綱分析法。第二章介紹了微製造技術。第三章為微機電系統在靜力平衡條件下的靜力學分析。第四章為微結構的靜力性能分析。第五章為微機電系統動力學分析。第六章為微機電系統流體力學分析。第七章介紹MEMS設計中涉及的基於電磁學的基本方程。第八章和第九章介紹如何通過MEMS 組件的組合設計具有特定功能的驅動器或感測器。

圖書目錄

第1章引言

1.1 微機電系統

1.2 耦合系統

1.3 所需知識

1.4 量綱分析

習題

第2章微製造

2.1 體微加工和表面微加工

2.2 光刻

2.3 層沉積工藝

2.4 刻蝕法

2.5 製造工藝設計

習題

第3章靜力學

3.1 靜力平衡

3.2 壓-張關係

3.3 熱應力

3.4 扭轉力矩作用下樑的性能

3.5 力矩-曲率之間的關係

3.6 梁方程

3.7 加勒金法

3.8 能量法

3.9 梁問題的能量方法

習題

第4章微結構的靜力性能

4.1 微結構的元件

4.2 通用梁的剛度

4.3 桿系

4.4 剛度變換

4.5 平面結構的靜力性能

4.6 殘餘應力

4.7 結構的立方力

4.8 勢能

4.9 勢能間的相似性

習題

第5章動力學

5.1 三次方程

5.2 運動的描述

5.3 動態支配方程

5.4 勢能和動能之間的能量轉換

5.5 無阻尼自由振動系統

5.6 阻尼系統的振動

5.7 多自由度系統

5.8 連續系統

5.9 有效質量、阻尼和剛度

5.10 具有重複結構的系統

5.11 達芬方程

習題

第6章流體動力學

6.1 黏性流

6.2 連續方程

6.3 納維-斯托克斯方程

6.4 雷諾方程

6.5 庫埃特流動

6.6 流體中的振動板

微機電系統原理

基本介紹

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