微機電系統中的運動檢測技術

《微機電系統中的運動檢測技術》是依託天津大學，由張國雄擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：微機電系統中的運動檢測技術
• 項目類別：面上項目
• 項目負責人：張國雄
• 依託單位：天津大學
• 負責人職稱：教授
• 申請代碼：E0511
• 研究期限：2003-01-01 至 2005-12-31
• 批准號：50275108
• 支持經費：22（萬元）

項目摘要

微機電系統在國防、高科技、生命科學、通信、智慧型技術等中有廣泛套用。微機電系統的檢測技術已構成制約其發展的一個因素。本項目研究利用雷射都卜勒技術測量微型振子，馬達等微機電器件的瞬時速度、加速度、轉速、角加速度等運動參數的方法，研製高精度、動態、一體化的測量裝置及其標定、精度檢定技術。總結出微機電系統檢測技術的一些規律。