微機電系統(MEMS)技術—帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法

《微機電系統(MEMS)技術—帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》是2020年10月1日實施的一項中國國家標準。

基本介紹

• 中文名：微機電系統(MEMS)技術—帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法
• 外文名：Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
• 標準號：GB/T 38446-2020
• 中國標準分類號：L55

編制進程

2020年3月6日，《微機電系統(MEMS)技術—帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》發布。

2020年10月1日，《微機電系統(MEMS)技術—帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》實施。

起草工作

主要起草單位：北京大學、北京智芯感測科技有限公司、中北大學、中機生產力促進中心、無錫華潤上華科技有限公司、北京必創科技股份有限公司。

主要起草人：張威、李海斌、夏長奉、石雲波、程紅兵、周浩楠、張亞婷、朱悅、陳得民、馬書嫏。