微光學器件加工系統

微光學器件加工系統是一種用於產品套用相關工程與技術領域的科學儀器，於2009年4月9日啟用。

基本介紹

• 中文名：微光學器件加工系統
• 產地：中國
• 學科領域：產品套用相關工程與技術
• 啟用日期：2009年4月9日

技術指標

（1）溫度控制：-30-80（±0.5）℃；（2）最小線寬：40 nm。

主要功能

用於Si，SiO2，聚合物等材料的深度刻蝕。