弧放電離子源

弧放電離子源是在均勻磁場中，由陰極熱發射電子維持氣體放電的離子源。為了減少氣耗，放電區域往往是封閉的。陽極做成筒形，軸線和磁場方向平行。磁場能很好地約束陰極所發射的電子流，在陽極腔中使氣體的原子(或分子)電離，形成電漿密度很高的弧柱。離子束可以垂直於軸線方向的側向引出，也可以順著軸線方向引出。

基本介紹

• 中文名：弧放電離子源
• 釋義：在均勻磁場中，由陰極熱發射電子維持氣體放電的離子源

氣體放電、電子束對氣體原子(或分子)的碰撞，帶電粒子束使工作物質濺射以及表面電離過程都能產生離子，並被引出成束。根據不同的使用條件和用途，目前已研製出多種類型的離子源。使用較廣泛的有弧放電離子源、PIG離子源、雙電漿離子源和雙彭源這些源都是以氣體放電過程為基礎的,常被籠統地稱為弧源高頻離子源則是由氣體中的高頻放電來產生離子的，也有廣泛的用途。