廣東省半導體產業技術研究院是直屬廣東省科學院的二級事業單位。
廣東省半導體產業技術研究院按照高起點、高標準的要求，已經完成3000平方米的研究室，購置了有機化學氣相沉積系統、Hall測試系統、X射線雙晶衍射儀、光螢光光譜儀、低溫PL光螢光光譜儀、ICP刻蝕機、PECVD、電子束蒸發台、襯底減薄拋光機、雷射切割機、晶片分選機等國際先進研究設備，在外延、器件加工產業化研究方面的硬體達到國際先進水平。
廣東省半導體產業技術研究院受廣東省科技廳的支持。研究院以推進半導體產業的發展為己任，聯合國內外著名科研機構、高等院校和半導體產業的領軍企業，針對半導體產業的共性技術，引進國內外一流的研究、開發人才，進行高水平的半導體關鍵技術研究，積極開展產業化推廣工作。利用5年左右的時間建成了國際先進的半導體產業公共技術平台，建立起包括外延、器件加工、封裝和套用的產業研發線，並將研究領域擴展到各種氮化物光電器件
