底部殘膠

底部殘膠是顯影工序後蝕試劑形貌缺陷的一種，底部有一部分光致抗蝕劑未被完全去除的現象，剖面形如腳形。

基本介紹

• 中文名：底部殘膠
• 外文名：footing profiles

發生底部殘膠的現象紙拒充連，排除顯影不足的原因外，主煉店說要是因為襯底表面處理存在問題，如塗膠前襯底表面溫度太高或者表面污染，造成光致抗蝕劑底部不容易顯影乾淨，或者形成去簽腿難以被去除的光致反應嫌精欠物，底部殘留會造成刻蝕後關鍵紋酷虹線寬的不穩定，底部粘連，或者影響電鍍、剝離或者鴉樂境承刻蝕等工序洪講正常進行，光刻工藝需要儘量避免。