殲星艦一詞來源於早期引進自港台的《星球大戰》漫畫作品，雖然“destroyer”一詞在軍事用語中是驅逐艦，英文原文是“Star Destroyer”，因此，在國內，也一直有“星際驅逐艦”的譯法。顯然星際驅逐艦沒有殲星艦殺傷力大，而且星戰後期作品出現的超級殲星艦（Super Star Destroyer）巨大到已經不是用驅逐艦可以概括，因此殲星艦一詞一直被正式使用，帝國議會不復存在後，銀河帝國和義軍仍然用殲星艦一詞來稱呼該類艦船。
隨著達斯·西迪厄斯大權在握，通過66號指令，把大共和國軍改組為帝國衝鋒隊（Imperial Stormtrooper），銀河帝國在一片血雨腥風中建立。當勝利級殲星艦（Victory-class Star Destroyer ）設計師的女兒——麗拉·威賽斯向帝國提出生產帝國級殲星艦時，海軍戰略家們和帝國軍事監查委員會以及議會預算委員會之間的爭論幾乎摧毀整個帝國。有人認為帝國花費的代價過於昂貴。有人認為這個計畫太可笑，還有人乾脆認為這在工程上根本就不可能。然而海軍當然喜歡這個計畫。海軍採取了一些措施才讓人們站到了自己一邊。
幾年之後當第一艘帝國級殲星艦從乾船塢里緩緩駛出（僅僅超過預算五千萬貨幣單位，“帝國I”級殲星艦，該級最初被命名為“元首”級 Imperator class）投入現役時，海軍的觀點得到了證實。帝國級殲星艦擁有足夠的火力摧毀一個文明或者俘獲整支敵方艦隊。每艘戰艦裝備一個帝國衝鋒師，他們進攻力量和用於軌道投放的熱防護盾，二十部AT-AT步行機三十部AT-ST步行機和六支用於護航和巡邏的TIE戰機中隊。一艘殲星艦造價甚至超過了有的星系整個的國民生產總值。而殲星艦作一次超太空跳越消耗的能量比一個國家整個歷史所耗能還多。銀河太龐大了即使銀河帝國也不可能訪問其中大部分的星系。想要控制所有星系更是不可能。最好辦法是通過以毀滅相威脅，迅速毫不留情地消滅任何出現敵對力量，才能使這些星系中居民臣服。帝國級殲星艦正是帕爾帕廷皇帝用來統治銀河系的武器。通過向一個星系部署殲星艦和支援艦船，皇帝可以摧毀任何敵人。
勝利級（Victory-class Star Destroyer）：建造和使用在銀河共和國和銀河帝國時代前期
狩獵者級（Venator-class Star Destroyer）：建造和使用在銀河共和國和銀河帝國時代前期
帝國級（Imperial-class Star Destroyer）：建造和使用在銀河共和國末期和銀河帝國時代
日蝕級（Eclipse-class Super Star Destroyer）：建造和使用在銀河帝國時代中後期
執行者級殲星艦（Executor-class Star Destroyer）：建造和使用在銀河帝國時代，達斯·維德在雅文戰役之後的旗艦
進取者級殲星艦（Aggressor-class Star Destroyer）
巴庫拉級殲星艦（Bakura-class destroyer）
奇斯殲星艦（Chiss Star Destroyer）
角鬥士級殲星艦（Gladiator-class Star Destroyer）
耙級無畏艦（Harrow-class Dreadnought）
帝國級殲星艦
帝國II級殲星艦（Imperial II-class Star Destroyer）
跋扈級殲星艦（Imperious-class Star Destroyer）
攔截者級殲星艦（Interdictor-class Star Destroyer）
通訊用艦（Main communications ship）
宏大級星際無畏艦（Mega-class Star Dreadnought）
遠途級殲星艦（Multi-kilometer Star Destroyer）
星雲/防衛者級殲星艦（Nebula/Defender-class Star Destroyer）：與大多數的殲星艦不同，捍衛者級取消了大型背部上層建築，在這以前原有的設計已經延續了幾十年。
佩雷恩級殲星艦（Pellaeon-class Star Destroyer）
回天級殲星艦（Rejuvenator-class Star Destroyer）
共和國級殲星艦（Republic-class Star Destroyer）
激波號殲星艦（Shockwave）
納沙達殲星艦（Star Destroyer (Nar Shaddaa)）
追擊鬥士級殲星艦（Tector-class Star Destroyer）：帝國級（Imperial-class）的一種變形艦，外形和Imperial II級相近，是作為參加艦隊戰的火炮艦隊驅逐艦設計的。它使用了帝國級（Imperial-class）的船體，沒有垂直的機庫和外部可見的反應堆球形突起。在恩多戰役中，有記錄顯示她們參加了戰鬥。
洶湧級殲星艦（Turbulent-class Star Destroyer）
征服者級（Conqueror-class Destroyer）
委託者IV級星際無畏艦（Mandator IV-class Star Dreadnought）
長矛級殲星艦（Xyston-class Star Destroyer）
勝利級
（Victory-class）
勝利級殲星艦（Victory-class Star Destroyer），由著名的星際造船廠倫迪利造船廠（Rendilli Stardrive）為了和夸特造船廠(Kuat Drive Yards, KDY)以及已有歡呼者級強襲登入艦的競爭而設計的。她們是舊共和國在複製人戰爭時期最為強大的中型戰艦。共和國和以後的帝國訂購了大量勝利級殲星艦和她的競爭對手——KDY的狩獵者（Venator）級殲星艦。
一支由殲星艦組成的艦隊，威力總勝過各種艦船總和。帝國級原名是元首級（Imperator-class），後銀河系共和國改制為銀河帝國，這級戰艦名稱也隨之改為帝國級（Imperial-class）。帝國級殲星艦（Imperial-class Star Destoryer, ISD）是如此的著名，以至於單獨的"Star Destroyer"一詞都用來指代帝國級殲星艦。
超級殲星艦（Super Star Destroyer, SSD）是帝國建造過的最大、最強有力的船隻之一，也稱之為執行者級超級殲星艦（Executor-class Super Star Destroyer）。它的火力十分強大外型遵循與帝國傳統星際驅逐艦相同的匕首型設計但是放大了很多。從上面看，平滑的船體呈現出箭頭狀的輪廓。
執行者的護盾是96000 SBD。
最著名的超級殲星艦（Super Star Destroyer，SSD）是達斯·維德所領導的死亡分艦隊旗艦——執行者號。執行者號的長度為19000m，它裝有5000門強力渦輪雷射炮和離子炮和大量的TIE式星際戰鬥機、炮艇，地面載具包括淘汰了AT-TE的AT-AT等等，諸如點防禦（Point-Defense）炮台和飛彈武器之類的輕型武器。她搭載有2個預製的前進基地可以用於快速部署。全艦帶有13個強大的引擎，能夠保證如此大的巨艦在星際航行中全速前進，當然也包括超空間引擎、質子魚雷發射器和牽引光束等必要的裝備，可以充當戰列艦的角色，另外，為了避免如此巨大的戰艦被義軍以小股兵力摧毀指揮橋便失去控制被損毀掉，執行者號另外配備了數個備用指揮橋，再主指揮橋毀壞後及時連線備用艦橋可以重新控制戰艦。死星在雅文戰役灰飛煙滅後，它載著達斯·維德等帝國高官對義軍展開追捕（最著名的就是霍斯戰役），它也在恩多戰役中作為指揮船。最後，一架在一名來自綠色中隊的英勇義軍飛行員勉強控制下的近乎失控的A翼星際戰鬥機衝進了執行者號的船橋，它的控制系統受到嚴重的損壞，且未及時連線備用艦橋。執行者號於是滑向死星II的引力場，撞上了死星II，執行者號在撞擊引起的巨大爆炸中被毀滅了。
《星球大戰8》中最新出現的一艘巨無霸戰艦“至高無上”號（Supremacy），屬於宏大級星際無畏艦（Mega-class Star Dreadnought），她是第一秩序（First Order）領袖斯諾克的旗艦，寬60km，是執行者級的三倍，停泊在未知星域，堪稱第一秩序的首都，內部可容納兩艘復興級殲星艦，並可停靠六艘復興級殲星艦，內部可生產AT-M6、AT-AT等第一秩序的地面兵器，為第一秩序的移動兵工廠，移動軍事要塞。
