工業用高純水設備是指工業用高純水將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的設備。電阻率大於10～18.3MΩ*cm極限值。超純水，是一般純水設備很難達到的程度，通常採用工業用高純水設備通過預處理、反滲透技術、高純化處理以及後級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換（拋光）、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm。
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工藝流程
電子行業製備超水的工藝大致分成以下幾種：
工業用高純水設備
工業用高純水設備1、採用離子交換樹脂製備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→後置精密過濾器→用水點
2、採用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→軟水器-精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→後置精密過濾器→用水點
3、採用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種製取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水製備工藝，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→軟水器-精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→拋光混床-紫外線殺菌器-終端精密過濾器→用水點
工藝比較
目前製備電子工業用超純水的工藝基本上是以上三種，其餘的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。現將他們的優缺點分別列於下面：
1、第一種採用離子交換樹脂其優點在於初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸鹼，而且對環境有一定的破壞。
2、第二種採用反滲透作為預處理再配上離子交換設備，其特點為初投次比採用離子交換樹脂方式要高，但離子設備再生周期相對要長，耗費的酸鹼比單純採用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。
3、第三種採用反滲透作預處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前製取超純水最經濟，最環保用來製取超純水的工藝，不需要用酸鹼進行再生便可連續製取超純水，對環境沒什麼破壞性。其缺點在於初投資相對以上兩種方式過於昂貴。
工程實例
3t/h電子行業用高純水系統
原水管道－原水加壓泵－多介質過濾器－活性炭過濾器－軟水器－精密過濾器－反滲透機－中間水箱-EDI裝置－中間水箱-拋光樹脂-紫外線殺菌器-終端精密過濾器－用水點-回中間水箱
相關設備
序號 | 名稱 | 單位 | 數量 |
1 | 自來水加壓泵 | 台 | 1 |
2 | 多介質過濾器 | 套 | 1 |
3 | 全自動炭過濾器 | 套 | 1 |
4 | 全自動軟水器 | 套 | 1 |
5 | 保全過濾器 | 台 | 1 |
6 | 反滲透設備 | 套 | 1 |
7 | 中間水箱 | 套 | 1 |
8 | EDI裝置 | 套 | 1 |
9 | 中間水罐 | 套 | 1 |
10 | 純水水泵 | 台 | 1 |
11 | 拋光混床 | 套 | 1 |
12 | 紫外線殺菌器 | 套 | 1 |
13 | 終端精密過濾器 | 台 | 1 |
