實用真空檢漏技術

本書是作者在幾十年的真空檢漏技術工程經驗以及培訓教學基礎上，結合近幾年出現的新技術、新成果綜合編寫成的。內容豐富、技術先進。

基本介紹

• 書名：實用真空檢漏技術
• 作者：曹慎誠　
• 出版社：化學工業出版社
• 出版時間：2011-3-1

圖書信息

版　次：1頁　數：161

字　數：140000

印刷時間：2011-3-1

開　本：32開

紙　張：膠版紙

印　次：1

I S B N：9787122101259

包　裝：平裝

內容簡介

全書共分7章，其中包括：檢漏的一般概念、檢漏的真空基礎、常用的檢漏方法、標準漏孔及其校準等。重點介紹了氦質譜檢漏儀法和四極質譜計檢漏法，並給出了套用實例。

本書主要為廣大真空檢漏技術人員提供服務，亦可作為真空檢漏培訓班教材使用，並為大專院校師生提供重要參考。

目錄

第1章　檢漏的一般概念

1?1檢漏技術的地位和套用

1?2檢漏技術的主要術語

1?3壓力與漏率關係

1?3?1動態真空

1?3?2靜態真空

1?4檢漏的任務

1?4?1真空抽不好的原因

1?4?2不能保持壓力的原因

1?4?3檢漏的任務

1?5漏孔及其表示

1?5?1焊縫及原材料的缺欠

1?5?2常見漏孔的形式

1?5?3漏孔出現位置及產生原因

1?5?4漏孔大小的表示方法

155影響漏孔漏率的因素7

156漏率的單位7

157漏孔對真空的影響10

16裝置漏氣的判定10

161真空裝置漏氣的判定10

162加壓裝置漏氣的判定12

163檢漏儀及其他方法13

17裝置容許最大漏率估算13

171動態真空裝置容許最大漏率14

172靜態真空裝置容許最大漏率15

173加壓裝置容許最大漏率16

174實際存在漏孔漏率分布16

18靈敏度與最小可檢漏率17

181靈敏度17

182最小可檢漏率17

183有效最小可檢漏率17

19對檢漏的一般要求18

110檢漏方法的分類19

1101加壓檢漏法19

1102抽真空檢漏法20

1103其他方法20

111檢漏方法、儀器和示漏物質選擇原則21

112國產氦質譜檢漏儀現狀21

第2章檢漏的真空基礎

21真空概念和測量單位23

211真空概念23

212真空度23

213真空區域劃分23

22理想氣體基本定律及狀態方程25

221理想氣體25

222波義耳定律25

223蓋·呂薩克定律25

224查理定律26

225阿伏伽德羅定律26

226理想氣體狀態方程26

227道爾頓定律（分壓力定律）27

23氣體分子的平均自由程27

231平均自由程27

232單一氣體分子的平均自由程27

24氣體流量和管道流導28

241氣體量28

242流量28

243流導29

244管道串聯的流導29

245管道並聯的流導29

25氣體的流動狀態29

251真空管道中的氣體流動29

252漏孔中的氣體流動30

26真空泵31

261油封式旋轉機械真空泵31

262油擴散泵34

263渦輪分子泵36

27真空計38

271靜態變形真空計38

272電阻真空計39

273熱偶真空計41

274熱陰極電離真空計43

275冷陰極磁控放電真空計（潘寧真空計）45

276分壓力真空計47

第3章常用的檢漏方法

31靜態升壓法49

32靜態降壓法51

33氣泡檢漏法51

331氣泡檢漏法的原理51

332產生氣泡的條件51

333產生壓差的方法52

334打氣試漏法及注意事項54

34高頻火花檢漏法55

341火花法56

342放電法56

35鹵素檢漏法 57

351鹵素檢漏法原理及儀器結構57

352鹵素檢漏法注意事項59

36質譜儀檢漏法60

37其他檢漏方法60

371真空規法60

372離子泵檢漏法69

373聲波檢漏法70

374氨檢漏法70

375放射性同位素法76

376著色滲透法78

377螢光滲透法79

378正壓漏率計算法79

第4章標準漏孔及其校準

41真空標準漏孔83

411概述83

412真空標準漏孔的種類83

413真空標準漏孔的比較88

42正壓標準漏孔89

43標準漏孔的校準及使用注意事項89

第5章氦質譜檢漏儀法

51氦質譜檢漏儀工作原理93

52儀器結構94

521質譜室94

522真空系統 97

523電氣部分98

524普通型氦質譜檢漏儀（ZJS23B）與逆擴散型

氦質譜檢漏儀（ZQJ230D）的比較98

53示漏氣體選擇99

54最小可檢漏率與校準100

541檢漏儀的最小可檢漏率101

542有效最小可檢漏率101

543檢漏儀的最小可檢漏率校準方法101

544有效最小可檢漏率的校準方法102

545注意事項103

55反應時間與清除時間及其校準104

56氦質譜檢漏儀的選擇106

57氦質譜檢漏技術107

571氦質譜檢漏方法107

572實際漏孔漏率123

573大容器檢漏124

第6章四極質譜計檢漏法

61四極質譜計的結構135

62四極質譜計的工作原理135

63四極質譜計的工作模式136

631模擬峰質量掃描136

632棒峰質量掃描136

64四極質譜計的性能指標137

641質量範圍137

642分辨本領R137

643靈敏度S138

644最小可檢分壓力pmin139

645最高工作壓力pmax139

646最小可檢濃度140

65四極質譜計檢漏方法140

651殘氣分析法140

652單一示漏氣體檢漏法140

653多種示漏氣體檢漏法140

66套用舉例142

67質譜圖的識別144

第7章檢漏實踐和檢漏安全

71檢漏實踐149

713如何進行檢漏152

72檢漏安全153

721安全事項153

722安全防護154

723壓力防護155

724安全裝置156

參考文獻

編後語