大氣壓脈衝射頻放電中斑圖特性和斑圖-輝光轉化研究

大氣壓脈衝射頻放電中斑圖特性和斑圖-輝光轉化研究

《大氣壓脈衝射頻放電中斑圖特性和斑圖-輝光轉化研究》是依託大連理工大學,由丁振峰擔任醒目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:大氣壓脈衝射頻放電中斑圖特性和斑圖-輝光轉化研究
  • 依託單位:大連理工大學
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:丁振峰
項目摘要,結題摘要,

項目摘要

大氣壓脈衝射頻放電是一種具有優勢的電漿技術,它不僅具有大氣壓連續波射頻放電的優點,又克服了連續波射頻大氣壓放電中氣體溫度高的缺點。但是,大氣壓脈衝射頻放電產生了不期望的斑圖-輝光轉變。本項目擬通過二維流體數值模擬和實驗研究,弄清大氣壓脈衝射頻的斑圖產生機理,各种放電參數、條件對斑圖-輝光轉變的影響規律;研究化學活性氣體脈衝射頻放電中的斑圖、輝光轉變特性,探索無斑圖的完全輝光放電放電方法。項目研究不僅能加深、拓寬對射頻電漿放電物理、電漿斑圖的知識和理解,還能提供一種氣體溫度低、均勻、高活性的大氣壓脈衝射頻放電技術。

結題摘要

大氣壓脈衝調製射頻放電具有連續射頻放電擊穿電壓低、放電區均勻、氣體溫度低的優點,但同時出現了介質阻擋脈衝放電中的不均勻自組織斑圖,由此開展了大氣壓脈衝射頻放電斑圖特性、斑圖-輝光轉化行為的研究。具體研究各种放電參數、條件對斑圖-輝光轉變的影響;研究化學活性氣體脈衝射頻放電中的斑圖、輝光轉變特性,探索無斑圖的完全輝光放電放電方法。通過研究發現: (1) 斑圖放電的I-V處於正常輝光區,本質上是空間上不連續的正常輝光放電。 (2) 斑圖放電出現在高脈衝頻率區,均勻輝光放電出現在中等脈衝頻率區。 (3) 斑圖放電出現在低占空比區,占空比隨pulse長度增加而提高。 (4) 在不同頻率下,斑圖結構呈現複雜、多樣的結構與演化特性。 (5) 射頻大氣壓的初始放電為局部輝光,當存在介質時,形成收縮、徑向不 連續斑圖擴張,繼而發展為均勻放電。 (6) 隨載頻頻率增加到臨界值,放電由不均勻的斑圖發展成為均勻輝光放電, 提高載波頻率是得到均勻放電的一種途徑。 (7) 在空氣電負性氣體放電中,斑圖-輝光轉變行為不同於電正性氣體:在低、 高占空比區,放電為均勻的輝光;在中等占空區,放電為斑圖模式。熱 不穩定、與激勵-阻止的競爭產生了上面的特性。 (8) 隨著載波頻率頻率增加,不僅相同密度下的電漿密度增加,而且能 量傳輸效率整體提高。 研究證明:高載波頻率脈衝調製射頻大氣壓放電具有氣體溫升低、產生效率高、放電均勻的優點,可用於溫度敏感功能材料加工。

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