《大尺寸金剛石晶圓高效超精密平坦化理論和技術研究》是依託大連理工大學,由金洙吉擔任醒目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：大尺寸金剛石晶圓高效超精密平坦化理論和技術研究
- 依託單位：大連理工大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：金洙吉
- 負責人職稱：教授
- 批准號：50575034
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 申請代碼：E0509
- 支持經費：24（萬元）
項目摘要
本項目以化學氣相沉積的大尺寸金剛石晶圓為研究對象，根據通訊、光電、半導體等領域對金剛石晶圓表面質量的要求以及目前金剛石晶圓拋光所面臨的問題，提出了熱化學輔助磨拋加工和化學機械拋光相結合的大尺寸金剛石晶圓高效平坦化加工新工藝。針對這一新工藝，研製FeCrNi合金基TiC微粉砂輪；研究磨拋過程中金剛石表面損傷和缺陷的產生機理和控制方法以及大尺寸金剛石晶圓高效超精密平坦化加工理論和相關工藝；研究金剛石晶圓的CMP中微觀力學行為、物理化學作用和表面材料去除機理以及金剛石晶圓高質量表面的化學機械拋光工藝。通過深入系統地研究大尺寸金剛石晶圓超光滑平坦化表面加工的理論問題和關鍵技術，為我國生產高質量的金剛石晶圓提供擁有自主智慧財產權的超精密加工理論和技術。
