大型金相顯微鏡是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的分析儀器，於2016年4月6日啟用。
基本介紹
- 中文名：大型金相顯微鏡
- 產地：德國
- 學科領域：工程與技術科學基礎學科
- 啟用日期：2016年4月6日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 光學顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
1. 發射源：肖特基（Schottky）熱場發射電子槍 2. 解析度: 20KV時1.3nm；15KV時1.5nm；1KV時2.8nm 3. 加速電壓：0.1V-30KV 4. 放大倍數：12倍～1,000,000倍 5. 探針電流：4pA-20nA；束流穩定性優於0.2%h 6. 樣品台移動範圍：X-125mm;Y-125mm;Z-50mm 7. 配EBSD和EDS探頭。
主要功能
掃描電鏡主要是利用二次電子、in-lens、ABS探頭對材料微區進行觀察與分析（幾何形貌、分布及尺寸）。能譜儀主要是配合電鏡在材料微區表面做點、線和面的元素分布分析。電子背散射衍射儀可以用來表征材料的取向分布度（OIM）、取向襯度圖（OCI）、相鑑定（PI）、面掃描（Mapping）、晶粒形貌分析、晶粒結構分析（極圖、反極圖和ODF圖）、晶界特徵分析、應變分析等。
