外延薄膜X射線衍射儀是一種用於物理學、材料科學領域的分析儀器，於2015年12月28日啟用。
基本介紹
- 中文名：外延薄膜X射線衍射儀
- 產地：荷蘭
- 學科領域：物理學、材料科學
- 啟用日期：2015年12月28日
- 所屬類別：分析儀器 > X射線儀器 > X射線衍射儀
技術指標,主要功能,
技術指標
基本組元： 1、3KW 高頻X射線發生器； 2、X光管Cu； 3、θ-θ廣角測角儀； 4、狹縫系統； 5、帶釋放單元的防護罩； 6、標準軟體，鋁樣品架，玻璃樣品架等。超高速新型探測系統；多用途測量系統及薄膜分析軟體；數據處理軟體，帶ICDD PDF-2資料庫。
主要功能
外延薄膜X射線衍射儀能夠精確地對單晶或多晶樣品進行物相定性定量分析；薄膜材料的物相、厚度、密度、粗糙度分析；結晶度分析、晶胞參數計算和固溶體分析；微觀應力及晶粒大小分析，微區分析、巨觀應力分析、織構ODF分析及高低溫原位分析；也可以用於變溫條件下物相結構的變化分析；也可以用於外延膜的表征。
