外延生長缺陷

外延生長會引起缺陷。

基本介紹

• 中文名：外延生長缺陷
• 釋義：外延生長引起缺陷

定義

外延生長引起缺陷叫做外延生長缺陷。

原理

缺陷的數目和密度受生長過程的各種條件影響，如襯底溫度、反應腔氣壓、反應生長物及晶圓片表面清洗過程。

特點介紹

如果這些缺陷位於晶圓片表面製作電晶體器件的有源區域，將導致器件失效。這些失效是由與缺陷相關的電子態，產生了額外漏電而直接導致的。失效也可以是間接造成的，在工藝過程中缺陷捕獲晶圓片中的其他雜質，能夠產生缺陷電子態，這些缺陷還將引起工藝中的額外的雜質擴散，改變電晶體特性。

套用

最常見的外延生長缺陷是位錯和堆垛層錯。