壓差真空系統

壓差真空系統

壓差真空系統(differentially pumped vacuum system)是2013年公布的機械工程名詞。

基本介紹

  • 中文名:壓差真空系統
  • 外文名:differentially pumped vacuum system
  • 所屬學科:機械工程
  • 公布時間:2013年
定義,出處,

定義

通過氣體節流,使相互連線的各個室分別用單獨的真空泵抽氣以達到維持壓差(壓降或壓力梯段)目的的一種真空系統。

出處

《機械工程名詞 第五分冊》第一版。

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