場像對準技術是一種對準精度高、結構簡單、可操作性強的對準方法，又稱視頻圖像處理對準技術。
基本介紹
- 中文名：場像對準技術
- 外文名：field image alignment
場像對準技術是一種對準精度高、結構簡單、可操作性強的對準方法。又稱視頻圖像處理對準技術（field image alignment，FIA），該方法指在光刻套刻的過程中，掩模圖樣與矽片基板之間基本上只存在相對旋轉和平移，充分利用這一有利條件，結合機器視覺映射技術，利用相機採集掩模圖樣與矽片基板的對位標記信號。此種方法看上去雖然與雙目顯微鏡對準有些類似，但是實質其實有所不同。場像處理對準技術是通過CCDS攝像對兩個對位標記圖像進行採集、濾波、特徵提取等處理，最後通過圖像處理單元（image processing unit）進行精確定位和匹配參數計算，求得掩模圖樣與矽片基板之間的相對旋轉和平移量，然後進行相位補償和平移量補償，自動完成對準的過程。其光源一般是寬頻的鹵素燈，波長在550~800nm。
相對於其他的對準方式其具有對準精度高、結構簡單、可操作性強、效率高的優勢。其對準精度誤差主要來自於圖像處理過程。因此，選擇合適的圖像處理算法顯得尤為重要。
