堅膜

堅膜是一個熱處理過程，即在一定的溫度下，對顯影后的晶圓片進行烘焙。

基本介紹

• 中文名：堅膜
• 外文名：hard mask

經過顯影的光刻膠膜已經軟化、膨脹，膠膜與晶圓片表面之間的黏附性下降。堅膜的目的是要使殘留的光刻膠溶劑全部揮發，提高光刻膠與晶圓片表面的黏附性以及光刻膠的抗腐蝕能力，使光刻膠確實能夠起到保護作用，為下一步的刻蝕做好準備。堅膜同時也除去了剩餘的顯影液和水。