《基於掃描隧道顯微術的電化學微細加工機理和方法研究》是依託浙江大學，由章海軍擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：基於掃描隧道顯微術的電化學微細加工機理和方法研究
- 依託單位：浙江大學
- 項目負責人：章海軍
- 項目類別：青年科學基金項目
- 負責人職稱：教授
- 批准號：69606003
- 申請代碼：F0406
- 研究期限：1997-01-01 至 1999-12-31
- 支持經費：8.1（萬元）
項目摘要
本項目提出和發展基於掃描探針顯微術的電化學微細加工方法。在理論上研究毛細管微探針與加工基板之間的離子電流效應和電化學效應，揭示了微細加工的機理及加工質量的綜合影響因素，據此建立電化微細加工的裝置和相關設備，在技術上實現不同線寬的微細加工。利用自製的毛細管微探針，在ITO表面分別加工出1-10uw、0.1-1uw與≤uw線寬的銅質光柵結構，實驗結果表明，加工線寬與毛細管的連線埠內徑數量級相同，最小線寬可克服傳統微細加工（如光刻）方法的極限。因此，本方法開拓了電化學微細加工的新途徑，為積體電路的加工和微型機械的製作提供了廣泛套用基礎。本項目已發表或錄用的國內外刊物論文6篇，SCI收錄論文2篇，申請國家發明專刊1項。
