基本介紹
- 中文名：基於半導體矽片的容柵千分感測器的設計
- 所屬類別：論文
- 作者： 王孝 王玉花 周善波 謝行 沈傳兵
- 統一書號：ISSN : 1000-9787 CN : 23-1537/TN
作者： 王孝 王玉花 周善波 謝行 沈傳兵
論文題名： 英文題名:Design on the capacitive grating millesimal sensor based on semiconductor silicon wafers
作者機構： 北京航天試驗技術研究所,北京100074
題名、責任者附註： WANG Xiao,WANG Yu-hua,ZHOU Shan-bo,XIE Hang,SHEN Chuan-bing（Beijing Institute of Aerospace Testing Technology,Beijing 100074,China）
語種： Chinese 漢語
分類： 中圖分類:TP212.1
期刊收錄： 1;CSSCD
作者簡介： 王孝（1977-），男，內蒙古巴彥淖爾人，碩士，工程師，研究方向為容柵感測器。
來源： 感測器與微系統, Transducer and Microsystem Technology,2011,008
標識號： ISSN:1000-9787CN:23-1537/TN
中文關鍵字： 容柵 千分感測器 半導體矽片
英文關鍵字： capacitive grating; millesimal sensor; semiconductor silicon wafers
