基於半導體氣敏元件法的報警儀

基於半導體氣敏元件法的報警儀（AlarmBasedon Gas Sensitive Semiconductor Device）是氣體工業名詞術語。

基本介紹

• 中文名：基於半導體氣敏元件法的報警儀
• 外文名：AlarmBasedon Gas Sensitive Semiconductor Device
• 類型：名詞術語
• 所屬行業：氣體工業

採用半導體氧化物作為氣敏元件，其電導率隨著接觸氣體濃度的變化呈線性關係，通過測量電導率就可以檢測出氣體的濃度，將信號放大並顯示報警。將半導體氧化物粉末塗在鉑絲上，鉑絲通電發熱提供一定溫度，同時提高了氣體檢測的靈敏度。該法對砷烷，磷烷，乙硼烷，矽烷的最低檢測濃度分別為012×10-6，013×10-6，011×10-6，015×10-6；回響速度90%應答10s。