四室超高真空系統

四室超高真空系統是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2009年4月16日啟用。

基本介紹

• 中文名：四室超高真空系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2009年4月16日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

高真空進樣室，MBE室，超高真空四探針室，低溫STM室。

主要功能

主要用於安裝四探針STM，低溫STM和小型的MBE生長裝置，從而實現納米材料和結構的光電綜合研究。